反應艙

材料：鋁

尺寸：400 x 400 x 400mm

容積：64升

艙門：裝有可視窗口

托盤：4個    尺寸：305 x 360 x 40mm

真空度測量

皮拉尼真空計

真空泵

旋片式真空泵；30m3 /h；含真空泵油

頻射發生器

0~600W可調，100KHz發生器

控制系統

PLC可實現下列功能：

自動控制反應過程；

根據處理材料設定不同的處理工藝參數；

測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標；

監測所有的運行指標，*證各項參數在設定范圍之內；

設定操作進入密碼。

電源

380V AC, 三相，50Hz, 40A

反應氣體

一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道；輸入壓力：1Bar

尾氣排放

直徑28mm 輸出端口

性能

急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE認證。